真空碳管燒結(jié)爐有什么作用呢？
發(fā)布日期：2019-12-12 瀏覽次數(shù)：1731
真空碳管燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過(guò)燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過(guò)程中的脫蠟（潤(rùn)滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時(shí)需要對(duì)燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。 真空碳管燒結(jié)爐主要用于工業(yè)陶瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷、金屬陶瓷、硬質(zhì)合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結(jié)設(shè)備。系周期作業(yè)式電爐，它是以優(yōu)質(zhì)石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐，額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下，允許在保護(hù)氣氛中，短時(shí)間工作到2400℃-2500℃?？晒┙饘?、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護(hù)氣氛中加熱之用。
電爐為立式真空電阻爐，它由爐身、爐蓋、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等部分所組成。爐身采用水冷夾層結(jié)構(gòu)。爐蓋可以借彈簧力開(kāi)啟。爐體上設(shè)有二個(gè)觀察窗，可以觀察工件加熱的碳管電阻爐情況。爐內(nèi)裝有石墨電極，它是由相互絕緣的兩個(gè)半圓組成的石墨發(fā)熱體接觸的表面采用圓柱面結(jié)構(gòu)。石墨發(fā)熱體在其縱向開(kāi)了數(shù)條細(xì)縫，以增加電阻，并使發(fā)熱體可以一端通電，而另外一端在加熱時(shí)允許自由的膨脹。發(fā)熱體的周?chē)卸鄬邮w維隔熱屏裝置，其組裝在一起便于取出爐外。
真空系統(tǒng)是由擴(kuò)散泵、機(jī)械泵以及真空閥等組成。真空的測(cè)量采用熱偶真空計(jì)和電離真空計(jì)。電氣系統(tǒng)由可控硅電壓調(diào)整器、低電壓變大電流變壓器和控制柜所組成。
